Наша компания производит линейные многокоординатные нанопозиционеры и устройства вращения на шаговых пьезодвижителях. Разработанные устройства отличаются высокой разрешающей способностью перемещения (до 10 нм) и большим рабочим диапазоном перемещения, достигающим нескольких сотен миллиметров. Все позиционеры оборудованы встроенными оптоэлектронными системами отсчёта, обладающими точностью установки до 100 нм. Максимальная нагрузочная способность составляет до 5 кГ для горизонтального перемещения и до 0,5 кГ для вертикального. Максимальная скорость перемещения до 3 мм/с.

Особенностью последних моделей наших позиционеров является блочная структура, обладающая значительным потенциалом унификации. Один из её ключевых элементов - пьезодвижители, одинаковые для всех линейных осей, а также для устройств вращения.

Все изготавливаемые приборы комплектуются электронными блоками питания и управления. Разработанные блоки, благодаря применению современной элементной базы на основе программируемых логических интегральных схем (ПЛИС) и микропроцессоров, обладают возможностью одновременного управления несколькими координатами с высокой точностью в реальном масштабе времени. Высоковольтные ключи, питающие пьезоэлементы, реализованы на современных полевых транзисторах, имеют высокий КПД и обладают повышенной надёжностью. Разработанное специальное программное обеспечение, установленное на ПК, позволяет осуществлять сложные алгоритмы перемещения.

Линейные устройства нанопозициорнирования

Устройства вращения.